Ankündigung
1. Mikrotechnik, Produktspektrum
2. Fertigungsverfahren der Mikrotechnik
3. Dünnschichttechnik, Funktionselemente
4. Aktorwerkstoffe, Produktbeispiele
5. Elektrostatik, Sensortechnik
6. Elektrostatische Aktoren
7. Elektrostatische Mikromotoren
8. Mikromontage I
9. Mikromontage II
10. Elektromagnetische Mikrobauteile
11. Faseroptische Schalter
12. Stellantriebe, Tintendruck